2L80-000155-11 NABTESCO WAFER TRANSFER ROBOT REDUCER,반도체장비수리,LCD장비수리

2L80-000155-11,반도체장비수리,LCD장비수리

 

팔당댐과 소양강댐등 한강 상류 댐의 수문이 열리고 폭우까지 겹치면서
한강 수위가 계속 올라다고 뉴스에 나오네요.
서울 잠수교는 닷새째 전면 통제가 되고 있다고 합니다.
그리고, 강변도로 곳곳이 통제되고 있다고 하는데요.
서울에 살고 있는 사람들은 교통 통제로 많은 불편을 겪을 것 같습니다.
지방에 산다는 것은 여유롭다는 장점이 있는 것 같습니다.

이번에 수리한 제품의 모델은 NABTESCO WAFER TRANSFER ROBOT REDUCER입니다. 
품번은 2L80-000155-11이구요.... 
웨이퍼 이송용 로봇의 팔을 구동하는 감속모터입니다. 

분해를 해보니 오일 유입으로 모터 내부에 오일과 슬러지가 꽉 찼습니다. 
엔코더에도 오일과 슬러지로 PCB가 부식되면서 다 망가졌습니다. 

 

엔코더는 신품으로 교체를 하고, 모터는 분해 세척후 베어링은 교체를 하고 조립을 합니다. 

앞쪽의 감속기도 오일이 굳고 찌꺼기가 많아서 세척후 전용 오일 구리스를 도포하여 수리를 마무리 합니다. 
시운전으로 테스트를 합니다.