CT PUMP수리 KOGANEI COAXIAL TUBEPHRAGM PUMP F-EPT180-3W

문재인 대통령이 삼성반도체를 방문하였습니다.

삼성에서도 비메모리 분야에 대한 집중 투자를 약속했습니다.

차세대 먹거리에 대한 기대가 예상됩니다.

과연 삼성이 비메모리 분야의 성과가 국민들에게 어떤

혜택이 발생될 수 있을지 기대해 봅니다.

이번에 수리한 모델은 KOGANEI COAXIAL TUBEPHRAGM PUMP입니다.

품번은 7-39-92224입니다. 

LCD라인에서 사용되는 표면 코팅 용액을 주입할때

사용하는 CT PUMP입니다.

액체를 정액 정량 토출하는 펌프라고 보면 되겠네요.

크린룸에서 장시간 사용하면서 볼스크류나 LM가이드,감속기등의

정비가 없어서 구동에 문제가 발생했습니다.

볼스크류, LM가이드, 감속기, 서보모터등 가동부는

모두 교체를  하였습니다.

기구부를 교체후, 반복 정밀도 테스트를 실시하니

3/1000mm의 정밀도 이내에서 동작하는 것을

확인했습니다. 감속비가 높은 것도 정밀도에 일조한 것 같습니다.