LCD SEMI(반도체)/ALIGNER2024. 7. 25. 09:06

 

 

산업용장비 로봇 서보 수리 및 판매 전문기업

주식회사 서보시스텍

 

 

 

 

안녕하세요.

이번에 수리한 모델은 YUHIDENSHI WAFER EDGE PROFILE CHECKER입니다.

품번은 EPRO-212E EPR0-212E이구요

 

 

이 장비를 잠깐 설명드리면 컴퓨터 카메라 비젼을 통한 반도체 웨이퍼 끝 단면 검사 장비입니다.

우선 외관을 보니 구형 데스크탑 컴퓨터와 장비가 연결됩니다.

OS(Operating System)도 윈도우즈 XP 일어 버젼이 설치되어 있습니다.

예전에 개발된 장비라서 PC의 카드를 꼽아서 직접 I/O제어하고, 카메라의 비젼 캡쳐보드로 영상을 획득하여 처리하는 것 같습니다.

 

 

카메라가 동작을 하지 않는 문제가 있어서 우선 컴퓨터를 먼저 체크하니 별 문제는 없는 것 같습니다.

 

 

장비는 CCU (Camera Cuntrol Unit)에 전원이 들어오지 않아서 전원 입력단 보드와 CCU를 확인하니 전원단이 문제가 발생해서 CCU 까지 문제가 발생한 것 같습니다.

수리후, 커넥터도 PC SLOT COVER에 장착하였습니다.

 

 

수리를 마치고 검사 프로그램으로 반도체 웨이퍼의 엣지를 검사하니 잘 동작하는 것 같습니다.

 

 

 


🤖 테스트 영상 🤖

 

 


 

 

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Posted by 서보시스텍 | 서보모터수리