#부룩스반도체장비수리
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주식회사 서보시스텍


<수리품 입고>


안녕하세요..
이번에 수리한 제품은 BROOKS ALIGNER입니다.
<수리품 분해>

모델은 001-0080-10이이고 반도체 웨이퍼 얼리이너입니다.
3축 스태핑 모터, 레이저 센서 등으로 구성되어 있습니다.




전원부와 모터 구동부, 센서부에 문제가 있어서 수리를 진행했습니다.

🤖 구동 영상 🤖
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https://servosystec.tistory.com/7
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