LCD SEMI(반도체)/PHOTO2020. 12. 3. 06:19

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모델:KOGANEI COAXIAL TUBEPHRAGM PUMP

품번:F-EPT120-2W

이번에 들어온 코가네이 CT펌프가 들어왔습니다.  
Koganei는 원래 소형시장에서 출발하였으므로 반도체를 프린트 기판에 삽입하는 공정에는 최적입니다.   

이외에도 실리콘 웨이퍼 제조 라인에 빠져서는 안될 레지스트 액 도포 공정에서 사용되는  
정량 토출 펌프와 주변기기 품목도 생산되고 있습니다. 독일과 일본이 산업분야에서는 최고입니다.  
증상은  구동시 소음과 어느정도 구동을 하게 되면 알람이 발생됩니다.  

벨로우즈는 일단 외관상 이상이 없어보이고 누유같은게 발생되지않아 보입니다.  
모터는 권선과 절연은 정상이지만 약간의 소음과 모터만 따로 구동을 하니 알람 20번 엔코더 통신알람이 발생됩니다. 

 

감속기는 장시간 구동과 피로누적으로 소음발생이  
심하게 발생되어 전체적인 오버홀과 테스트를 진행하였습니다.  

 

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Posted by 서보시스텍 | 서보모터수리