ASYST LOAD PORT UNIT (RETICLE SMIF INDEXER) NRI PIP,1150R (PART No. 9700-6444-02 REV.E) 어시스트레티컬인덱스수리
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이번에 수리한 모델은 ASYST LOAD PORT UNIT (RETICLE SMIF INDEXER)입니다.
이 제품의 품번은 NRI PIP,1150R (PART No. 9700-6444-02 REV.E)이구요..
반도체 웨이퍼 카세트 업다운용 엘리베이터 모듈입니다.
업다운 동작 알람이 발생하는 문제가 있습니다.
분해를 해 보니, 엔코더에 문제가 있습니다.
보드를 보니 모터 드라이버도 문제가 있습니다.
모터 드라이버와 엔코더를 교체한 후 구동부는 크리닝 및 전용 구리스 도포를 해 주었습니다.
수리후 동작하니 잘 동작합니다.
🤖 테스트 영상 🤖
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https://servosystec.tistory.com/7
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